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半导体制造用CNE系列1/4”NPT囊式滤芯

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CNE系列囊式滤芯是一种小型的囊式过滤器,广泛应用于半导体制造工艺中显影液、蚀刻液、去离子水等的过滤, 也可用于小批量化学试剂的过滤。
主要特点
● 结构紧凑,外型坚固
● 密封、耐压性能好
● 滞留体积小
● 无O型圈设计
● 抛弃式设计,方便使用
优良的生产品质
滤芯在符合ISO9001标准质量体系的一流的生产车间内制造完成

技术参数

半导体制造用CNE系列1/4”NPT囊式滤芯

材料结构

滤材

参见订购信息

内芯支撑层

聚丙烯

外壳 & 骨架

聚丙烯

密封技术

热熔焊(无粘合剂)

接口形式

进出口

1/4”MNPT

排气/排污口

1/8”MNPT

过滤面积

2.5”

≥ 1.1 ft2 (0.1 m2 )

5”

≥ 2.2 ft2 (0.2 m2 )

10”

≥ 3.4 ft2 (0.3 m2 )

过滤精度, μm       

聚丙烯:0.1, 0.2, 0.45, 0.65, 1.0, 3.0, 5.0, 10, 20

聚醚砜:0.1, 0.22, 0.45, 0.65, 0.8, 1.2

尼龙:0.1, 0.22, 0.45, 1.0, 3.0, 5.0

疏水液体聚四氟乙烯:0.05, 0.1, 0.22, 0.45, 1.0

亲水液体聚四氟乙烯:0.1, 0.22, 0.45, 1.0

疏水空气聚四氟乙烯:0.01

玻璃纤维:0.45, 1.0, 3.0, 5.0

聚偏二氟乙烯:0.1, 0.22, 0.45, 1.0, 3.0, 5.0

最高操作温度

60140 ℉)

可耐正向最大压差

液体:3.5 bar @ 23 , 3.0 bar@60 (50.8 psid@73.4 , 43.5 psid@140 )

气体:3.0 bar @ 23 , 2.5 bar@60 (43.5 psid@73.4 , 36.3 psid@140 )


订购信息

半导体制造用CNE系列1/4”NPT囊式滤芯

CNE.jpg